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广州潽拓光电科技有限公司——大阪涡轮分子泵

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立式涡轮分子泵的优点是：真空系统的结构简单，在改装旧有扩散泵系统时可直接替代扩散泵而无须改动真空系统结构；其次是泵内只有一组涡轮叶片，因而价格较低廉

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真空系统是通过组合各种泵来实现真空环境的系统。

真空广泛用于先端科学技术到一般产业的领域。根据用途所需的真空条件也是不同的。考虑对环境的影响，可凝性气体、腐蚀性气体的处理是应该解决的重要问题。

另外，还有节能问题，所需的压力范围也各不相同。

真空泵有各自的特点，通过组合这些泵实现理想的真空环境。

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分子泵的冷却方式有三种：自然冷却、强制风冷和水冷。300 l/s 以下的分子泵，在没有气体负载的情况下，可以采用自然冷却；较大的分子泵或者有一定的气体负载时，需要选择强制风冷（风扇冷却）；对于有些负载很大的应用（比如CVD），或者不方便使用风扇的环境（如辐射环境），需要采取水冷。